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Produkte aus hochreinem Graphit im Siliziumherstellungsprozess
Gereinigter Graphit Herstellung von Polysilizium
Die Polysiliziumindustrie muss neue Anforderungen erfüllen und die Kosten senken.
Mersen mit seinem vielfältigen Produktangebot will diese Ziele erreichen:
- Hochreines Polysilizium 9N mit dem Status eines Referenzmaterials zu garantieren und in naher Zukunft eine Reinheit von 10N zu erzielen
- Die Wartungskosten durch nachhaltige Anlagen zu senken
- Die Energiekosten des Prozesses zu senken
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Verbrauchsmaterial und Anlagen für Polysiliziumhersteller
Wir bieten Verbrauchsmaterial und Anlagen für Polysiliziumhersteller:
- Elektroden aus ultrareinem Graphit
- Heizelemente aus ultrareinem Graphit
- Große Zylinder aus ultrareinem Graphit Kohlefaserverbundstoffen
- Steife und flexible Filzisolationsplatten aus Kohlefaserverbundstoff
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Abscheidungsreaktor im Siemens-Prozess
Die Reaktorkammer aus Quarz enthält sehr dünne U-förmige Siliziumstäbe, die an die Elektroden aus gereinigtem Graphit montiert sind. Die Siliziumstäbe heizen sich durch den Strom auf, der von den Graphitelektroden bereitgestellt wird. Gasförmiges Trichlorsilan SiHCl3 (TCS) dringt bei hohen Temperaturen in die Abscheidungskammer ein und zersetzt sich, wobei reines Silizium auf den heißen Stäben abgeschieden wird.
Nach Abschluss des Abscheidungsprozesses werden die Siliziumstäbe aus dem Reaktor herausgenommen und zerschlagen, um das Polysilizium zu gewinnen.
Mersen liefert Elektroden aus ultrareinem Graphit als Verbrauchsmaterialien für diesen Prozess.
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Wirbelschichtreaktor
In der Quarzkammer des Reaktors werden Siliziumfeinstkörner in einen Silangegenstrom geleitet. Der Reaktor und der Gaseinlass werden durch Graphitheizelemente aufgeheizt. Die Isolation bildet steifer Filz. Das Silan zersetzt sich zu Silizium und bläht die Feinstkörner auf. Das reine Silizium wird in Körnerform gewonnen.
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Thermowandler: STC-Rezyklierungsreaktor (SiCl4) Hydrierung bei hohen Temperaturen
Während der Abscheidungsprozesse wird ein erheblicher Teil des Gases in STC (SiCl4) umgewandelt. Zur Steigerung der Ausbeute muss dieses STC als TCS in einem Hochtemperatur-Hydrierungsreaktor bei 1.500 °C rezykliert werden.
Mersen ist ein anerkannter Marktführer mit seinem besonders wettbewerbsfähigen und umfassenden Angebot:
- Zylinder aus ultrareinem Graphit bis 1.5 m Durchmesser
- Spezialbeschichtungen für längere Lebensdauer
- Wärmeisolation aus hochleistungsfähigem gereinigtem steifen Kohlefaserverbundstoff
- Heizelemente und Platte aus Kohlefaserverbundstoff
- Isolation Wirbelschichtreaktor Mersen
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Product Literature
Technische Dokumentation
07/03/2017
Technische Dokumentation
07/01/2017
Carbon & graphite for the PV industrypdf - 1.34 MB
Technische Dokumentation
07/03/2017
Purified graphite silicon carbide graphite enhancementpdf - 2.09 MB
Produkte
