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silicon carbide ultra-stable structures Mersen Boostec

Halbleiter und optomechanische OEMs

Mersen Boostec liefert die ultra-stabilen Siliziumkarbid-Strukturen, die heute für Halbleiter und optomechanische Geräte benötigt werden.
Mersen Boostec liefert die ultra-stabilen Siliziumkarbid-Strukturen, die heute für Halbleiter und optomechanische Geräte benötigt werden.
  • Halbleiter und optomechanische OEMs

    BOOSTEC® SiC-Lösungen werden dort eingesetzt, wo höchste Präzision gefordert ist:

    • Industrielle Halbleiterprozesse
    • EUV-Lithographiemaschinen,
    • Fortschrittliche Messgeräte für optische Oberflächen,
    • Ultravakuum
    • Wissenschaftliche Anlagen und Geräte
  • Boostec Kompetenz in Fertigung & Design

    • Einzigartige Erfahrung in der Herstellung von ultra-stabilen Strukturen der 3-Meter-Klasse.
    • Möglichkeit einer integrierten Lösung aus einem Guss: Luftlagersystem, Kühlung mit Innenkanälen, Spiegel.
    • Von monolithischen SiC-Teilen bis hin zu äußerst komplexen Baugruppen fertigt Mersen Boostec hochstabile Stände, Bodenplatten, Träger, Schiebekonstruktionen für schnelle und genaue Positionierung, Futter
  • Lösungen von Boostec® SiC

    • Konfigurationsmöglichkeiten offener Lösungen mit Boostec® SiC
    • Hohe mechanische Festigkeit und keine mechanische Ermüdung
    • Perfekte Isotropie des SiC-Materials,
    • Makellose polierbare Oberflächen zur Verwendung als optische Referenz
    • Optimale Stabilität im Zeitablauf
    • Wasser- und gasdicht, keine Ausgasung, keine Feuchtigkeitsaufnahme
    • Verschleißfestigkeit
    • Ausgezeichnete chemische Trägheit
  • Produktliteratur

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