Halbleiter und optomechanische OEMs
Brochures
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Halbleiter und optomechanische OEMs
BOOSTEC® SiC-Lösungen werden dort eingesetzt, wo höchste Präzision gefordert ist:
- Industrielle Halbleiterprozesse
- EUV-Lithographiemaschinen,
- Fortschrittliche Messgeräte für optische Oberflächen,
- Ultravakuum
- Wissenschaftliche Anlagen und Geräte
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Boostec Kompetenz in Fertigung & Design
- Einzigartige Erfahrung in der Herstellung von ultra-stabilen Strukturen der 3-Meter-Klasse.
- Möglichkeit einer integrierten Lösung aus einem Guss: Luftlagersystem, Kühlung mit Innenkanälen, Spiegel.
- Von monolithischen SiC-Teilen bis hin zu äußerst komplexen Baugruppen fertigt Mersen Boostec hochstabile Stände, Bodenplatten, Träger, Schiebekonstruktionen für schnelle und genaue Positionierung, Futter
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Lösungen von Boostec® SiC
- Konfigurationsmöglichkeiten offener Lösungen mit Boostec® SiC
- Hohe mechanische Festigkeit und keine mechanische Ermüdung
- Perfekte Isotropie des SiC-Materials,
- Makellose polierbare Oberflächen zur Verwendung als optische Referenz
- Optimale Stabilität im Zeitablauf
- Wasser- und gasdicht, keine Ausgasung, keine Feuchtigkeitsaufnahme
- Verschleißfestigkeit
- Ausgezeichnete chemische Trägheit
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Produktliteratur
Technische Dokumentation
02/10/2020
Boostec® SiC Silicon Carbide Materialpdf - 7.32 MB